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諾伊斯:【切~】
傑克·基爾比的發言剛結束,諾伊斯就發出噓聲。
江維:“切什麼切,到你了,有什麼把式就亮一亮。”
諾伊斯:【一個鍺晶片上就一個電晶體,也好意思說自己是積體電路。就讓哥跟你講講,什麼才是真正的積體電路。】
傑克·基爾比:【老子是19年生的,你是1927年才蹦出來的,誰是大哥數學不及格麼!就算不比年紀,比個頭,老子也是大個!】
諾伊斯:【兩米高了不起啊,你那麼能打nba去啊!】
江維:“風度,風度!”
諾伊斯:【哼!讓我來給你們介紹一下,什麼才是真正的積體電路工藝技術吧。
當時,電晶體都是檯面工藝,也就是你們理解的3d。但這種“造型”會有問題,最早是軍方提出異議的。
軍方洲際導彈發射時會產生巨大的震動,這個動靜會使得電晶體上的一些金屬粉塵顆粒脫落,導致電晶體暴露的接頭處出現短路的問題。
所以我們快捷半導體開始想辦法著手解決這個問題。
要解決這個問題我給大家進行了分工,一是由赫爾尼和摩爾負責研究新的擴散工藝。二是由我和拉斯特一起攻堅平面照相技術。
核心的目的,就是將電晶體從以前的“檯面”造型變成“平面”造型。
當然,這裡還要感謝貝爾實驗室前期的技術鋪墊。
他們有兩項發明,是實現半導體平面工藝的基礎。】
此時,訊息驗證的聲音又響了。絕壁是系統管理員的“知識圖譜”安排!
好吧,江維直接把人放了進來。
卡爾·弗洛士:【嘿嘿,大家好。】
諾伊斯:【喲,二氧化矽薄膜製備的發明人來了。既然您來了,那就由您介紹這項為半導體平面工藝奠基的重要技術吧。】
卡爾·弗洛士:【好的呀!1955年,我正在搞研究,鑽研如何解決矽表面在高溫雜質擴散時裂開的問題。
然後,一不小心將氫氣加入了擴散中,擴散爐中一下子就產生了水蒸氣,迅速在矽晶體表面產生了一層二氧化矽。
結果,你猜怎麼著。沒想到啊沒想到,這層二氧化矽竟然是一層很好的雜質擴散阻擋層!】
觀眾大喇叭牛哄哄:“又是不小心!切克老司機不小心發現了直拉法,這哥們又不小心發現二氧化矽的阻擋層作用。
這就是機緣砸在臉上吧!我的天,請不用疼惜我,也給我來個不小心吧。”
觀眾太空漫步者:“哪有那麼容易,雖然是他們都是不小心造成了某種現象,但後續會對這種現象展開進一步的研究,才會誕生最終的學術成果。
你不小心,真的就只是不小心臉被砸扁了而已。”
卡爾·弗洛士:【後來,我和我的技術研究員林肯·德里克立刻進行進一步研究。
用氫氟酸在二氧化矽上腐蝕出一些小區域露出部分矽,從這些“開口”進行雜質擴散。
採用這種方法,能將雜質擴散到矽晶片上的指定區域。由此,為在同一種材質上製作出各種電路打下了基礎。】
張汝京:【對,二氧化矽很快就成為電晶體生產和平面處理技術中重要的物質。它不但可以用作半導體pn結之間的絕緣物質,同時還能保護矽晶體不受金屬汙染。
在後來的晶片工藝中,二氧化矽被廣泛應用在封裝和絕緣工藝中。】
諾伊斯:【卡爾·弗洛士他們的這種全新擴散技術,使得雜質只能從“開口”處擴散到矽晶片上。而覆蓋二氧化矽氧化膜的地方被保護了起來。
這種技術,讓光刻技術呼之欲出。
同年,貝爾實驗室的朱爾斯·安德魯斯和沃爾特·邦德將製造印刷電路的光刻技術用於矽片加工。
他們在二氧化矽的氧化膜上均勻的塗抹一層“光致抗蝕劑”,也就是我們現在所說的光刻膠。
然後透過光學曝光,將電路圖“影印”在這一圖層上,形成精準的“開口”區。
之後,在用化學方式將圖案進行腐蝕,製作出“開口”,最後將雜質從“開口”擴散到下面的矽晶片上,形成半導體所需要的pn結。
貝爾實驗室的這兩項技術,就是半導體平面工藝的基礎。】
觀眾大喇叭牛哄哄:“咦,這不就像以前用膠捲拍照,再衝洗的過程麼?只不過多了一個腐蝕過程,將圖形在矽晶片上腐蝕出來。”