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奈米等離子體,並依靠這些等離子體產生波長為135奈米的euv光源對晶圓進行曝光雕刻。
其控制單元對於精度要求之高可見一斑。
雖然喬澤在論文中的設計,對於儀器精度的要求降低了不少。但這畢竟是光刻機,其功能是將無數的電晶體雕刻在矽晶圓上。對穩定性跟精度的要求擺在那裡。
更重要的是,這玩意兒如果是真的話,那麼相當於同時二十八臺光刻裝置同時工作,同時加工生產不同製程不同功能的晶片,而且每條通道還能根據生產需要,對光源進行即時調整。
其生產效率跟生產靈活性,要遠遠高於目前傳統的光刻裝置。
真的,讀完第一篇論文之後布林就已經徹底呆住了,他甚至懶得翻開第二篇論文。
想到現行的許多政策,華夏人如果真把這種裝置造出來,不需要多,哪怕一年只能生產一臺,這也是能直接吊打阿斯麥的存在。而且以華夏的工業儲備潛力以及對高階光刻技術的渴望,這玩意真要走出了實驗室,一年只生產一臺幾乎是不可能的。
大概要不了幾年,這玩意就會遍地開花。
一旦開花之後,接下來可能發生什麼,布林都不敢往下想了。
這就真的很離譜了。
心神激盪之下,他立刻把康妮副主編又叫進了他的主編辦公室。
……
“康妮,這篇論文已經有人審過了吧?告訴我,那些專業人士的意見。”
“是的,威爾遜主編,他們甚至已經用計算機進行了一定程度的推演跟驗證,根據目前計算的結果,論文給出的資料真實性在百分之八十以上。還有那套控制系統,嘗試用虛擬機器進行驗證,就是模擬了那些論文描述的元器件,然後使用那套系統進行模擬控制,嗯……怎麼說呢……除開操作介面過於簡陋之外,最終給出的評估分值很高,不說完美,起碼也是優秀。比如系統支援對每條通道進行程式設計,還能模擬生產效果。”
“但這篇論文明明說的是他只是進行了理論方面的推導跟設計,你看看這裡對束光器的描述,他甚至用了構想這個詞……”
“是啊,是啊,這就是大家都覺得矛盾之處了。讓我們假設這些都是理論推導的,但那些資料該怎麼解釋?而且正常情況下,我無法想象,在沒有實物的情況下完全僅憑想象就能開發一套適配的系統,其中甚至還包含了最底層每個器件的驅動,以及對解析度的精細化調整。”
布林·威爾遜不說話了,也不知道該說點什麼。
畢竟從業這麼多年,他還真沒見過如此奇怪的論文。奇怪到他甚至要跟副主編坐在一起,分析這篇論文裡寫的東西,到底是真實存在,還是僅僅存在於紙面上的構想。
“布林,感覺很奇怪對嗎?剛才我又跟沃爾特聊了聊這篇論文,你知道他怎麼說嗎?”
布林·威爾遜微微頷首,示意康娜別賣關子了。
“這篇論文給他的感覺就像是一個小孫子想要炫耀一些他見識到的好東西,但又怕其他人覺得這東西真的存在會跟他搶,所以用了許多模糊性詞彙跟一些真實資料縫合,於是就有了這篇論文。”
這麼一說,布林·威爾遜突然覺得恍然大悟。
對啊,他其實也是這種感覺,只是太過怪異,他不知道如何形容。
畢竟光刻機這玩意兒,可不是小孩子的玩具。
“那個喬澤的年紀好像不大?”
“是的,聽說不到二十歲。”
“所以其實沃爾特的意思是,喬展現出了數學方面的天賦,然後被學校邀請到一個研究光刻機的實驗室裡參觀,他接觸到了一些資料跟系統,然後直接寫成了論文?但這也說不通啊?這些實驗室資料不該是保密嗎?哪怕實驗室資料對訪問者公開,也不會把控制系統的原始碼對一個訪客公開吧?而且喬澤把論文寫了,參與專案的其他人呢?”
“我是這麼想的,你應該知道喬的前兩篇論文是關於群論的因果耦合,並藉此搭建了一個智慧平臺。有沒有一種可能,光刻機專案組邀請喬是因為他們碰到了一些難以解決的問題。畢竟同時高精度並穩定的控制二十八道光束,對於系統的智慧化要求極高,然後喬參與了最佳化工程,所以才接觸到了最新的資料跟原始碼?”
“你的意思是,他完成了這項委託工作之後,出於炫耀的心理,甚至不顧保密協議,然後寫了這篇論文,並直接投給了我們?讓我看看……哈,通訊作者跟一作都只有他的名字!”
“我不知道,