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首先，宰相褚遂良、耒濟、侍中韓瑗等被貶了官，不久長孫無忌又被逼迫自殺，還有20多位反對她的官員受到罷黜，另一方面，武則天也開始擢用許敬宗等支援她的人。高宗向來孱弱，身體一直不好，這也使他不得不依靠武則天一同處理軍國大事。公元660年，高宗因病，委託武則天“決百司奏事”，自此武則天更是一發而不可收拾，實際上掌握了大唐政權。隨著武則天權力一天天的加強，唐高宗也感到了壓力和不快。
由於則天武后處理政務有章有法，英名果決，不像高宗那樣久諉不決，群臣雖然對她的專政頗有微辭，卻又不得不敬服。同樣，高宗雖對武則天的獨斷專行非常厭煩，可是許多國家大事又不能不倚重她。就這樣，武后逐漸從幕後走向前臺，從簾子之後走上朝堂，竟與高宗同臨紫殿，一起接受群臣朝拜。上元元年，即公元674年，高宗李治號天皇，皇后武則天號天后，天下人從此謂之“二聖”。自此，唐高宗形同虛設，淪為傀儡，在“二聖臨朝”的幌子之下，唐朝的權柄，盡在武后則天的掌握之中。
武則天的日益專斷使得高宗的不滿一天天累積，當年那個溫柔可人的嬌俏女子竟然成了自己皇權的競爭和爭奪者。公元664年，高宗便和宰相上官儀密謀，決定廢掉武則天的皇后之位，上官儀答應起草詔書。不料武則天安插在皇帝身邊的耳目得知後連忙向她報告。武則天馬上面見高宗，她軟硬兼施，用多年的夫妻情分感化高宗，又擺出朝綱大局說得高宗啞口無言。最終，高宗既心軟又無奈，他改變了廢后的主意，還把責任全推到了上官儀的身上。武則天於是讓許敬宗捏造上官儀和已經被廢的太子李忠圖謀反叛，將上官儀處死，並賜死廢太子李忠，李忠時年22歲。
武則天的親生兒子一共有四個，長子李弘、次子李賢、老三李顯、老四李旦。公元656年，武則天的長子李弘被立為皇太子。李弘為人忠厚耿直，處事謙虛忍讓，而且頗具政治才幹，很多方面都像他的父親。高宗和大臣對他都很滿意，隨著身體狀況的日益下降，高宗很想把皇位傳給李弘。但這時的武則天早已嚐到了最高權力的味道，她不願意讓兒子來侵奪自己已經習慣享受和控制的政治權力，而且，李弘對武則天也不是那麼順從，他甚至因為一些小事莽撞地跟武則天爭執，這使武后對他很有不滿。於是，在權力和親情之間，武則天狠心地選擇了前者。公元675年，即上元二年四月，武則天用毒藥將年僅24歲的兒子李弘毒死。以天子禮葬於恭陵，追號孝敬皇帝。因李弘無子，便以皇四子李旦的兒子楚王李隆基過繼為子。
李弘死後，高宗由於精神受到強烈的刺激，再加上多年以來的頭疼病，覺得身體狀況已經不允許他再操勞國家大事了，他開始考慮把皇位讓給武則天。但是，朝中大臣們的極力反對，使武則天沒能如願，但這對於武則天卻是個極大的刺激與鼓勵，使她第一次對皇帝的位置有了嚮往並且開始了計劃的實施。
公元675年5月，次子李賢又被立為太子。李賢在高宗讓他處理政務的過程中也確實顯示出了過人的才能和氣魄，再加上宰相們的輔佐和支援，武則天又一次感到了危機。她再一次不願放棄權力，於是想方設法地限制甚至剝奪李賢的權力，她甚至還指使人誣告太子貪戀女色，荒廢政事。公元680年8月，李賢終於被廢掉太子身份，貶為庶人，後來又被迫遷到巴州。到了公元684年的時候，就在武則天廢黜中宗李顯後的第三天，她就又派人到巴州將李賢殺死。
在李賢被廢掉太子的第二天，三兒子李顯被立為太子。在四個兄弟中，李顯是為人最懦弱，最缺乏權力慾望和心機的一個。這也使武則天對他非常放心。不久高宗病逝，李顯隨即即位，他就是唐中宗。他尊母親武則天為皇太后，時時處處聽從母后的安排，正由於他的軟弱和順從，武則天接受了他的即位。但是，僅僅只過了55天，中宗又被武后廢掉，貶為廬陵王，幽禁於深宮。公元684年，武后立第四子李旦為帝，他就是唐睿宗。
武則天雖然讓小兒子繼承了皇位，但並不允許他處理朝政，皇帝完全成了傀儡。同時，武則天大肆任用武姓宗族的子弟，讓他們把持朝廷的重要部門，同時排擠和打壓李姓皇族。一時間，朝廷上分為李姓和武姓兩大對立派別，顯然，武姓在這樣的競爭中佔據了絕對的優勢。一切大事都由武則天自己決定，手下的人盡是自己的親信，他們自然極盡阿諛奉承，唯武則天是從。逐漸地，武則天做女皇的願望更加強烈了。她首先將東都洛陽改為神都，準備將來做自己的都城用。她還把唐朝文武百官的名稱進行了變動：如
