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檢測室內,神光1x射線光刻機正在運轉著,一群工作人員依舊在孜孜不倦的測試和調整。

作為中芯國際的首席技術執行,官李偉光技術水平還可以,他兩眼放光盯著眼前的龐然大物,這是多麼美妙的工業之花。

李偉光心想,希望這臺光刻機是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。

高致遠指著光刻機介紹道:“大家眼前的這臺光刻機,就是我們神光儀器研發神光1x射線光刻機,具體技術指標,想必大家已經有所瞭解了。”

李偉光、趙軍等人當然瞭解,工信部的公告附件上面,就有神光1x射線光刻機的技術指標,他們半路上已經研究過。

“高總,貴方的光刻機精度真的可以達到10~7奈米”李偉光急促的問道。

“我知道大家非常懷疑,一旁有八寸矽片,中芯國際應該有帶技術員過來吧”

李偉光點了點頭。

高致遠指著一側的庫房繼續說道:“你們可以派人拿著矽片,和我們的員工一起進行光刻測試。”

“那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉過頭向中芯國際的人吩咐道:“張工、李工,麻煩你們了。”

倆中年技術員麻利動手,他們藉助工具小心翼翼的將矽片取出。

這些矽片不僅僅價格昂貴,而且非常脆弱,別說摔地上了,哪怕是空氣最好也別直接接觸,因為沾染上灰塵會非常麻煩。

將兩片矽片送入專門的清潔裝置之中,然後塗抹光刻膠,將光刻膠攤平到一定的厚度,晾乾矽片表面的光刻膠。

其中的工序非常繁雜,也不能有一絲失誤,這不僅僅考驗機器裝置,也考驗技術員的水平。

要是其中一個環節出現失誤,不僅白忙活了半天,矽片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費了,這些都是真金白銀。

怪不得說科研就是在燒錢。

一個多小時過去,終於到了矽片光刻的步驟,一塊八寸矽片被光刻機的自動化裝置送入其中。

為了避免影響光刻效果,李工透過一個小視窗的透鏡觀察了矽片一會,便將小視窗關閉,讓光刻室形成一個暗箱。

張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板(電路圖母板),隨便挑選了其中一個模板,輸入尺寸調整。

因為不同的晶片電路圖,需要的面積不一樣,因此一塊矽片可以刻出多少顆晶片,是要根據實際情況來調整的。

工作人員們都是用簡單的手勢來交流著,在這種高精密的裝置周圍,哪怕是說話大聲一點,都可能影響到光刻結果。

光刻開始。

大約16秒左右,被光刻完成的矽片便出現另一側的出口。

然後又快速加工了第二塊矽片,同樣是16秒左右出來。

在檢測室外面的趙軍、李偉光、方龍等人,都緊緊盯著那兩塊光刻完成的矽片。

張工和李工用特製的裝置,一人負責一塊矽片,轉移到隔壁的電鏡檢測室裡面。

電子顯微鏡下,矽片上的電路圖紋路和模板一模一樣,唯一區別就是尺寸。

“竟然真的可以做到7奈米,不可思議。”李工看著電子顯微鏡驚歎道。

“不僅僅如此,x射線光刻出來的紋路非常整齊細膩,真是一個傑作。”張工補充道。

倆人對於兩塊矽片進行了非常全面的檢測,最後生成兩份檢測報告。

在外面乾著急的李偉光,看到倆人走出來,迫不及待的上前問道:“結果如何”

中芯國際和海思眾人緊張又期待的看著倆人,希望是好訊息,而不是壞訊息。

“李總,神光1x射線光刻機的精度確實達到了10~7奈米,甚至比阿斯麥的極紫外光效果更加好。”張工解釋道。

呼!眾人長出一口氣。

李工將兩份檢測報告遞給李偉光:“這是具體檢測報告。”

中芯國際的眾人連忙傳閱起來。

看完詳細的檢測報告之後,趙軍和李偉光呼吸都重了起來,這個神光1x射線光刻機比阿斯麥的頂級光刻機還更強一絲。

至少目前阿斯麥公司的頂級光刻機,在面對7奈米晶片時顯得有些力不從心,而神光1x射線光刻機卻遊刃有餘。

如果他們知道黃明哲故意限制精度,就會明白為什麼會遊刃有餘了。

“高總,我以一個華國晶片人的身份,向你們致敬。”李偉光激動不已的說道。

作為一個華國

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