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田園犬,畢竟光刻機技術太敏感了。
空曠的頂級無塵裝配室內,高致遠親自帶著上百員工、幾十個研究員在忙碌著。
而在一旁的測試室內,第一臺x射線光刻機,正在不斷的測試和調整,畢竟是初代產品,大問題或許不多,但是小毛病鐵定少不了。
黃明哲帶著黃安國和那十幾個專家,在更換了專門的工作服,又透過除塵、除靜電等清潔,最後才進入測試室內。
一眾專家一進入測試室內,便被陳列其中的x射線光刻機吸引住。
“黃總工,x射線光刻機的x射線輻射劑量是什麼標準”其中一個專家連忙問道。
這個問題非常重要,x射線的穿透力非常強,如果輻射劑量超標,那員工的身體必然出問題。
“這是輻射劑量檢測儀,你們可以測試一下。”
幾個專家操作起一臺精度超高的環境輻射檢測器。
[0003602sv]
“好小,只有0003602毫西弗。”
“其他位置也測試一下。”
其實是由於x射線光刻機的光刻膠光敏性非常高,導致x射線鐳射器的功率非常小。
加上之前在研發光刻膠的時候,材料研究所製造了一些副產品,其中就有可以吸收x射線的材料。
神光儀器在設計的一開始就非常注意x射線輻射的問題,他們利用這種材料,製造了一些可拆卸的輻射吸收隔板。
這些隔板可以吸收絕大部分散射出來的x射線,從而減少x射線對於周圍環境的輻射劑量。
儘管這樣做,需要隔一段時間更換一次隔板,但是至少員工不會因此輻射超標。
其實目前這個輻射劑量比醫院的x光片(01sv)、ct(2~15sv),那是小得非常多,就和我們日常看電視受到的輻射劑量差不多。
加上工作人員的防護服也是神光儀器自己改造的產品,可以進一步阻擋x射線,所以這裡的環境輻射,和外面環境已經沒有太大差別。
“整體符合預期,環境輻射劑量在00032~00047毫西弗之間。”
負責記錄的官方人員連忙將資料記錄在表格上面。
接下來才是重頭戲,這些專家們借用神光儀器的裝置,檢測了光刻機的精度以及其他各項引數。
單單是這個工作他們就進行了一個多星期,主要是為了確保萬無一失,免得到時候成為一個國際笑話。